ເພັດ CVD (Chemical Vapor Deposition) ເປັນເພັດສັງເຄາະທີ່ຜະລິດໂດຍຂະບວນການປະຕິກິລິຍາເຄມີລະຫວ່າງອາຍແກັສກັບພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມແລະຄວາມດັນສູງ.ເພັດ CVD ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຫຼາຍໆຄໍາຮ້ອງສະຫມັກລວມທັງເຄື່ອງມືຕັດ, ການເຄືອບທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ວັດສະດຸກໍ່ສ້າງແລະການປູກຝັງທາງຊີວະພາບ.ປະໂຫຍດອັນຫນຶ່ງຂອງເພັດ CVD ແມ່ນວ່າຮູບຮ່າງແລະຂະຫນາດທີ່ສັບສົນສາມາດຜະລິດໄດ້ໃນປະລິມານສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ຫລາກຫລາຍໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ຫລາກຫລາຍ.ນອກຈາກນັ້ນ, ເພັດ CVD ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ຄວາມແຂງແລະຄວາມທົນທານ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຂໍ້ເສຍຫນຶ່ງຂອງເພັດ CVD ແມ່ນວ່າມັນມີລາຄາແພງເມື່ອທຽບກັບເພັດທໍາມະຊາດແລະວັດສະດຸອື່ນໆ, ເຊິ່ງອາດຈະຈໍາກັດການຮັບຮອງເອົາຢ່າງກວ້າງຂວາງ.